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Prober Shuttle PS8
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Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達(dá)八個(gè)MM4 微機(jī)械手以及一個(gè)三軸子平臺(tái)??捎糜诎雽?dǎo)體材料,器件,結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。

產(chǎn)品型號(hào):PS4/PS8

更新時(shí)間:2025-01-16

廠商性質(zhì):代理商

訪 問(wèn) 量 :693

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產(chǎn)品介紹

Prober Shuttle PS8, 超緊湊的 PS8可安裝多達(dá)八個(gè)MM4 微機(jī)械手以及一個(gè)三軸子平臺(tái)。27 個(gè)軸中的每個(gè)軸都能以JI高的精度進(jìn)行定位。探針的 Z 驅(qū)動(dòng)向上擺動(dòng) 90°,便于接近樣品,也便于快速更換針尖。


每個(gè)微型MM4機(jī)械手都配備了用于低電流測(cè)量套件。整個(gè)平臺(tái)可通過(guò)一個(gè) 6" Load Lock進(jìn)入掃描電鏡或掃描電鏡/FIB 的真空室。


Prober Shuttle PS8,還配有高級(jí)探測(cè)工具套件(可選),可為Probing探測(cè)應(yīng)用提供大量附加功能。可用于半導(dǎo)體材料,器件,結(jié)構(gòu)等電學(xué)性能分析。


系統(tǒng)特點(diǎn)

所有空氣側(cè)硬件均安裝在 19 英寸機(jī)架上

電子設(shè)備機(jī)架位于操作員視線之外

通過(guò) APT UI 控制整個(gè)系統(tǒng)

從法蘭到機(jī)架的整潔電纜管理

針對(duì)電路編輯應(yīng)用的 FIB 傾斜探測(cè)

非磁性設(shè)計(jì)

可用于5納米及更高



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