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產品型號：LCMK-EM
更新時間：2025-01-16
廠商性質：代理商
訪 問 量 ：1133
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LCMK-EM Low-Current Measurement Kit
LCMK-EM低電流測量套件是用于MM3A-EM微納操縱儀的低電阻、低噪音探針支架（probe holder）。它可以對導電樣品進行低電容、低電流測量，從而增強MM3A的功能。
標準鎢探針可插入LCMK-EM探針支架。三通軸電纜（Triax cable）和饋入件（feedthrough）將電信號傳輸到適配器上，適配器適用于所有傳統參數分析儀（Parameter analyzer）。
LCMK低電流測量套件插件工具可快速方便地安裝到已有的MM3A-EM微機械手上。
應用（Application）
失效分析
高K柵極材料的鑒定
EBIC/RCI分析
納米線、超薄膜等優良材料的電特性分析
技術參數（Specification）
電流測量極限：0.2pA
絕緣漏電流：50 fA at 1 V
信號傳導電阻：0.9 Ω
最大電壓：210V
最大電流：200mA
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