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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心德國(guó)Kleindiek微納米操縱儀MM3E位置編碼的微納操縱儀

位置編碼的微納操縱儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

位置編碼的微納操縱儀(Encoded Micromanipulator),兼具M(jìn)M3A-EM產(chǎn)品的特點(diǎn)的同時(shí),各軸都具有編碼功能,可實(shí)現(xiàn)位置的編碼、存儲(chǔ)、調(diào)用。一鍵恢復(fù)探針到工作或停留位置。

產(chǎn)品型號(hào):MM3E

更新時(shí)間:2025-01-16

廠商性質(zhì):代理商

訪 問(wèn) 量 :1742

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產(chǎn)品介紹

位置編碼的微納操縱儀MM3E以MM3A-EM微納米操縱儀為基礎(chǔ),具有MM3A-EM相同的緊湊性、精確性和穩(wěn)定性。同時(shí),MM3E具有閉環(huán)位置反饋功能(closed-loop positional feedback),該功能提高微納米操縱儀的易用性。一鍵定位MM3E的探針到工作(Working)和停留(Parking)位置。

MM3E與市場(chǎng)上幾乎所有的SEM或FIB/SEM兼容。它配備了一個(gè)直觀的拖放式(drag&drop-style)控制軟件,可方便地在SEM或FIB/SEM工具內(nèi)定位探針。

軟件可執(zhí)行坐標(biāo)變換,使MM3E以笛卡爾坐標(biāo)系工作,其重現(xiàn)性?xún)H為幾微米。利用可選的帶編碼的旋轉(zhuǎn)軸,樣品可在工作位置進(jìn)行同心旋轉(zhuǎn)(compucentrically)。

位置編碼的微納操縱儀

位置編碼的微納操縱儀產(chǎn)品特點(diǎn):

配有模塊化組件和一系列插件工具的即插即用系統(tǒng)

適用于大多數(shù)SEM/FIB的接口解決方案

輕松使用多個(gè)機(jī)械手

結(jié)構(gòu)緊湊,可實(shí)現(xiàn)更高的共振頻率

幾乎不受振動(dòng)影響

快速手動(dòng)預(yù)定位

寬大的工作范圍(100cm3)


技術(shù)參數(shù):

X/Y分辨率:0.5nm

Z分辨率:0.02nm

R軸分辨率:0.5e-6°

XYZ重復(fù)性:<2µm

R軸重復(fù)性:<0.02°

漂移:<1nm/min

同心旋轉(zhuǎn)同心度~30µm


應(yīng)用:

原位提取(In-situ lift-out)

納米探測(cè)(NanoProbing)

微納操縱(NanoManipulation)

位置編碼的微納操縱儀

Compucentric rotation within a field of view of 30 µm

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