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微納操縱儀
產品簡介:

MM3A-EM微納操縱儀(Micromanipulator)體積小,安裝在SEM/FIB的腔室內。可用于TEM樣品的原位提取,半導體器件的納米探測,納米材料樣品的微納操縱等。

產品型號:MM3A-EM

更新時間:2024-12-10

廠商性質:代理商

訪 問 量 :3239

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產品介紹

MM3A微納操縱儀

功能:用于SEM,FIB和其他顯微平臺下的納米級顯微操縱。微鑷子,弱電流測量屏蔽,旋轉,微力測量等插件進一步拓展MM3A的功能。

功能插件(Plug-in Tools):

Microgripper微鑷子

Rotationaltip 旋轉臂

Lowcurrent measurement kit 弱電流測量屏蔽套件

Microsoldering unit 微焊接

Microinjector微注射

GasInjection System 氣體注射系統

Forcemeasurement system 微力測量


產品特點(Features):

納米級精度,厘米級工作范圍

定位的長期穩定性,“零"漂移

可適用于各種SEM/FIB顯微平臺,包括Load lock

豐富的功能插件


技術參數(Specifications

尺寸:62.1L*20.4W*25.4mmH

重量:45g

操縱范圍:12mmC軸), 240o(A,B)

位移速度:≥2 mm/sC軸),≥10 mm/sA,B軸)

分辨率:0.05nmC),0.25nmB),0.5nmA

保持力:1N

保持扭矩:3-4Nmm

探針電流范圍:10 nA to 100 mA

最大探針電壓:100V

真空度:10-7 mbar

應用領域(Application):

原位提取(In-situ lift-out

納米探測(NanoProbing

微納操縱(NanoManipulation





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