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EBIC (Electron Beam Induced Current) 原理

更新時間:2024-12-25點擊次數:1207

EBIC (Electron Beam Induced Current),電子束誘導的電流。

 

EBIC原理

EBIC圖像是通過測量穿過半導體氧化物Oxide和金屬Metal層進入pn結的電子流而產生的電子束(Electron Beam)與半導體PN結區的作用產生的電子空穴對electron hole pairs擴散電壓diffusion voltage的作用下分離EBIC電流信號通過鎢探針連接到EBIC放大器上,并將EBIC電流信號放大并轉換為電壓信號。當用電子束掃描樣品時,即可通過SEM獲得樣品的電流像。

image.png

(1) 電子束在半導體材料中產生電子-空穴對

(2) 電子和空穴在耗盡區的內部電場中分離產生 EBIC 電流

(3) EBIC電流信號作為 SEM 成像系統的輸入信號

(4) 可對耗盡區(Depletion zone)和電氣缺陷表征 


EBIC圖像解讀

EBIC圖像中,“明/暗"區域代表PN結中n阱和P阱。灰色區域表示沒有記錄到電流的區域。通過與二次電子像的疊加,可以SEM相中看到PN結(耗盡區,Depletion zone)的位置。

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EBIC結果

EBIC結果可以用于定位并觀察PN結和非破壞性電氣缺陷表征。

image.png

圖示例:EBIC in 10 nm Exynos


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