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當(dāng)前位置:首頁(yè)技術(shù)文章帶位置編碼器的納米機(jī)械手-MM3E

帶位置編碼器的納米機(jī)械手-MM3E

更新時(shí)間:2024-10-30點(diǎn)擊次數(shù):778

德國(guó)Kleindiek公司的MM3E 經(jīng)典廣泛使用的 MM3A-EM 微納米操縱儀韋基礎(chǔ),具有與 MM3A 相同的緊湊性、精確性和穩(wěn)定性,并結(jié)合了閉環(huán)位置反饋功能closed-loop positional feedback。這一改進(jìn)為提高系統(tǒng)的易用性提供了手段(例如,通過(guò)定義停止位置parking position和工作位置working position一鍵點(diǎn)擊,使機(jī)械手前端的探針到達(dá)目標(biāo)位置,大大提高了工作效率)。

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MM3E 與市場(chǎng)上幾乎所有的 SEM FIB/SEM 兼容。它配備了一個(gè)直觀的拖放式drag&drop-style控制軟件,可方便地在 SEM FIB/SEM 內(nèi)對(duì)探針進(jìn)行三維定位。

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軟件可執(zhí)行坐標(biāo)變換,使 MM3E 笛卡爾坐標(biāo)系運(yùn)動(dòng),其重現(xiàn)性僅為幾微米。通過(guò)選配編碼軸向旋轉(zhuǎn)單元,試樣可以在靠近試樣的位置進(jìn)行同心旋轉(zhuǎn)compucentrically 

應(yīng)用領(lǐng)域:

TEM 原位提取(In-situ lift-out

納米探測(cè)(Electrical probing

納米操縱(Nanomanipulation

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Compucentric rotation within a field of view of 30 µm


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