中出欧美-а天堂中文在线官网-国精产品一二三区传媒公司-国产精品久久久久乳精品爆-日本伊人精品一区二区三区-欧美精品偷自拍另类在线观看

上海溪拓科技

專業的實驗室儀器設備服務商

服務熱線:021-60195846

技術文章

ARTICLE

當前位置:首頁技術文章原位電性能測試

原位電性能測試

更新時間:2018-11-10點擊次數:4042

聚焦離子束(FIB)微納加工工作站

      聚焦離子束(Focused Ion beam, FIB)的系統是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。目前商用系統的離子束為液相金屬離子源,金屬材質為鎵(Ga),因為鎵元素具有低熔點、低蒸氣壓及良好的抗氧化力;典型的離子束顯微鏡包括液相金屬離子源、電透鏡、掃描電極、二次粒子偵測器、5 - 6軸向移動的試片基座、真空系統、抗振動和磁場的裝置、電子控制面板和計算機等硬設備,外加電場(Suppressor)于液相金屬離子源可使液態鎵形成細小,再加上負電場(Extractor) 牽引的鎵,而導出鎵離子束,以電透鏡聚焦,經過一連串變化孔徑可決定離子束的大小,再經過二次聚焦至試片表面,利用物理碰撞來達到切割之目的。 將掃描電子顯微鏡與FIB集成為一個系統,可充分發揮各自的優點,加工過程中可利用電子束實時監控樣品加工進度可更好的控制加工精度。

原位電性能測試

微操縱儀(德國Kleindiek Nanotechnik MM3A,國內代理上海溪拓科學儀器有限公司)具有納米級的步進精度,X軸和Y軸的轉動量為120度,于水平進退(X軸)、水平轉動(Y軸)以及垂直轉動(Z軸)方向,的位移精度分別為2、2.5、0.2nm。MM3A微操縱儀由壓電馬達、針尖組件、控制單元和外圍支架組成。壓電馬達由定子和滑塊組成。壓電馬達由伸長量為1um的壓電陶瓷實現高精度位移,馬達驅動電壓為-80v~+80v,驅動模式分為精調模式和粗調模式各三檔,采用一個12位數模轉換器,將X、Y和Z方向的步進分成4096步,從而實現納米級的位移。本系統多可獨立加載三路電壓。

芯片電路修改

在各類應用中,以線路修補和布局驗證這一類的工作具有大經濟效益,局部的線路修改可省略重作光罩和初次試作的研發成本,這樣的運作模式對縮短研發到量產的時程有效,同時節省大量研發費用。封裝后的芯片,經測試需將兩條線路連接進行功能測試,此時可利用聚焦離子束系統將器件上層的鈍化層打開,露出需要連接的兩個金屬導線,利用離子束沉積Pt材料,從而將兩條導線連接在一起,由此可大大縮短芯片的開發時間。

樣品原位加工

可以想象,聚焦離子束就像一把只有數十納米的手術刀。離子束在靶材表面產生的二次電子成像具有納米級別的顯微分辨能力,所以聚焦離子束系統相當于一個可以在高倍顯微鏡下操作的微加工臺,它可以用來在任何一個部位濺射剝離或沉積材料。圖1是使用聚焦離子束系統篆刻的數字;圖2則是在一個納米帶上加工的陣列孔;圖3是為本課題組加工的橫向存儲器單元陣列。

返回列表
  • 服務熱線 021-60195846
  • 電子郵箱

    info@xtg-tech.cn

掃碼加微信

Copyright © 2025 上海溪拓科學儀器有限公司版權所有    備案號:滬ICP備15008989號-2

技術支持:化工儀器網    sitemap.xml

主站蜘蛛池模板: 无码专区狠狠躁躁天天躁| 欧美日本日韩| 亚洲精品无码成人片久久不卡| 中文字幕日本人妻久久久免费| 日日澡夜夜澡人人高潮| 人妻教师痴汉电车波多野结衣| 免费观看四虎精品国产地址| 久草热8精品视频在线观看| 中文字幕无码日韩专区| 亚洲国产制服丝袜无码av| 黄瓜视频在线观看网址| 麻豆传传媒久久久爱| 亚洲欧洲自偷自拍图片| 成人区人妻精品一区二区不卡视频| 人妻精品无码一区二区三区 | 国产真实的和子乱拍在线观看| 久久精品国产国产精品四凭| 国产强被迫伦姧在线观看无码| 国产精品一区二区久久| 午夜男女爽爽影院免费视频下载 | 51国偷自产一区二区三区| 中文字幕亚洲欧美在线不卡| 人妻精品人妻无码一区二区三区 | 午夜在线观看免费线无码视频| 国产新婚夫妇叫床声不断| 色偷偷亚洲第一综合网| 成人性生交大片免费看vr| 国产精品无码久久av不卡| 国产成人精品aa毛片| 亚洲精品乱码久久久久久金桔影视 | 巨臀中文字幕一区二区| 双腿张开被9个黑人调教影片| 日本熟日本熟妇中文在线观看| 狠狠亚洲超碰狼人久久| 俄罗斯美女真人性做爰| 欧美人与性囗牲恔配| 国色天香成人网| 强插女教师av在线| 性高朝久久久久久久3小时| 一本一道色欲综合网| 国产欧美日韩高清在线不卡|